Componenti per l'impianto di ioni di tungsteno

Descrizione dei componenti per l'impianto di ioni di tungsteno

Il tungsteno è un metallo duro con un aspetto bianco lucido e argenteo. È resistente all'ossidazione e all'attacco di acidi e alcali. È un metallo ingombrante e ha il punto di fusione più alto di qualsiasi metallo. Il nome chimico del tungsteno è wolfram, rappresentato da W. Il suo numero atomico è 74 e appartiene alla categoria dei metalli di transizione, periodo 6 della tavola periodica.

L'impianto ionico è un processo importante ampiamente utilizzato nella fabbricazione di dispositivi a semiconduttore, nella finitura dei metalli e nella ricerca scientifica sui materiali. È un processo a bassa temperatura attraverso il quale gli ioni di un elemento vengono accelerati in un bersaglio solido, modificando così le proprietà fisiche, chimiche o elettriche del bersaglio.

L'impiantatore ionico è l'attrezzatura chiave nella realizzazione di circuiti integrati. Quando i fasci ionici vengono sparati sulla superficie del semiconduttore e depositati, la concentrazione del vettore e il tipo di conduzione vengono modificati. Possedendo la sua eccellente modifica della superficie, l'impianto ionico è ampiamente applicato in materiale semiconduttore, metallo, ceramica, polimero ad alto peso molecolare, ecc.

L'impianto ionico è essenziale per realizzare un circuito integrato massiccio (IC). I componenti dell'impianto ionico sono spesso realizzati in TZM, molibdeno e tungsteno perché questi materiali potrebbero funzionare bene in ambienti difficili grazie alla loro resistenza alla corrosione, resistenza e alta conduttività termica. La parte più importante di un sistema implanter è il percorso del fascio in cui sono impegnati i componenti. Qui, gli ioni vengono generati, concentrati, accelerati e mirati verso il wafer.

Prodotti per l'industria dei semiconduttori

Camere (tungsteno, molibdeno e leghe)

Filamenti (tungsteno e leghe di tungsteno)

Fessure ad arco (tungsteno, molibdeno e leghe)

Supporti (tungsteno, molibdeno e leghe)

Catodi (tungsteno, molibdeno e leghe)

Pezzi di ricambio (tungsteno, molibdeno e leghe, ceramica, acciaio)

Specifiche e composizione chimica

Proprietà chimiche del tungsteno

Proprietà fisiche del tungsteno

Proprietà meccaniche del tungsteno

Proprietà termiche del tungsteno

Applicazioni dei componenti per l'impianto di ioni di tungsteno e settori correlati

● Produzione di semiconduttori

● Finitura dei metalli per l'indurimento dell'acciaio degli utensili e la finitura superficiale

● Miscelazione del fascio ionico per ottenere un'interfaccia graduale e rafforzare l'adesione tra materiale immiscibile

● Ricerca & Laboratorio

● Semiconduttore

● Metallo

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