Polvere WN

Descrizione della polvere di nitruro di tungsteno

La polvere WN è un composto inorganico, un nitruro di tungsteno. È un materiale ceramico. È elettricamente conduttivo. È un materiale solido molto duro. Ha colore marrone. Si decompone in acqua.

La polvere WN è un altro film utilizzato per strati conduttivi o strati barriera all'interno della produzione di circuiti integrati. Il suo utilizzo non è comune come i film di tungsteno puro o i film di nitruro di titanio, ma sembra avere molte promesse in futuro quando le geometrie si restringono. Fornisce compatibilità per le applicazioni che utilizzano barriere nei livelli W/WN e WSix/WN.

La polvere WN viene utilizzata in microelettronica come materiale di contatto, per strati conduttivi e strati barriera tra silicio e altri metalli, ad es. tungsteno o rame. È meno comunemente usato rispetto ai film di nitruro di titanio o tungsteno.

Applicazioni in polvere WN e industrie correlate

● Un'altra pellicola utilizzata per strati conduttivi o strati barriera all'interno della produzione di circuiti integrati.

● Materiale di contatto in microelettronica,

● Strati conduttivi e strati barriera tra silicio e altri metalli, ad es. tungsteno o rame.

● Ricerca e Laboratorio

● Deposizione di film sottili

Identificatori chimici

Proprietà del nitruro di tungsteno (WN) (teoriche)

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